Explore des méthodes de lithographie alternatives telles que la nanoimpression et la lithographie au pochoir pour la fabrication de nanofils et la structuration de surface exotique.
Explore la lithographie au pochoir, une technique de structuration directe à haute résolution, et ses applications sur les substrats flexibles, le stencilage dynamique et la biostructuration.
Explore les encorbellements à détection automatique dans la microscopie par sonde à balayage et les avantages des systèmes capteurs-actionneurs intégrés pour la collecte de données à grande vitesse.
Explore l'évolution de la micro-ingénierie et de la nano-ingénierie, en mettant l'accent sur l'utilisation du silicium comme matériau mécanique et l'application de l'AFM et de la T-SPL en nano-ingénierie.
Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
