Microscopie de sonde de balayage : Fondamentaux et applications
Graph Chatbot
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AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.