MEMS électrostatique: DEA et entraînements à peignes
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Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Discute de la conception et de l'importance des guides flexibles en microtechnologie, en soulignant leurs avantages et leurs applications dans les dispositifs MEMS.
Couvre la technologie des capteurs de faible puissance pour l'IoT et les wearables, en se concentrant sur les capteurs d'activité basés sur les MEMS et les biosignaux.
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Explore les lois de mise à l'échelle, les simulations et les défis dans les MEMS électrostatiques, en se concentrant sur la densité d'énergie, la capacité, les actionneurs et les applications pratiques dans les gants haptiques.
Explore les technologies de capteurs dans MEMS, en se concentrant sur les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes, et souligne l'importance de la fusion des capteurs.
