Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Couvre la technologie des capteurs de faible puissance pour l'IoT et les wearables, en se concentrant sur les capteurs d'activité basés sur les MEMS et les biosignaux.
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Explore les technologies de capteurs dans MEMS, en se concentrant sur les capteurs de pression, les accéléromètres et les gyroscopes, et souligne l'importance de la fusion des capteurs.
Discute de la conception et de l'importance des guides flexibles en microtechnologie, en soulignant leurs avantages et leurs applications dans les dispositifs MEMS.
