Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Couvre le processus de gravure en utilisant des techniques humides et sèches, en expliquant les définitions, les étapes, les exemples, les défis et les solutions.
Explore les techniques de gravure sèche pour différents matériaux, y compris les processus continus, pulsés, cryogéniques et la gravure isotrope à l'aide de SF6.
Explore la microfabrication de verre à l'aide de la gravure humide à l'acide fluorhydrique, couvrant les mécanismes de gravure, l'impact des additifs et les effets de surface.
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Explore diverses techniques de gravure sèche pour le silicium et l'équipement utilisé dans le processus, y compris les sources de plasma RF et les graveurs en phase vapeur HF.
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Explore les techniques de gravure au silicium, la fabrication du réseau Utah, les mesures d'impédance et les sondes de silicium actif pour les enregistrements neuraux.
