Nanomanufacturation avancée : Lithographie et auto-assemblage
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Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore les fondamentaux de la microscopie à sonde à balayage, les types de pointes et les modes AFM pour l'imagerie et la manipulation à l'échelle nanométrique.
Explore la croissance auto-organisée aux surfaces et couvre l'instrumentation, l'exposition destructrice, la manipulation avec SIM, les nanostructures et la croissance de film mince.
Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
Explore la lithographie par sonde à balayage pour les techniques de structuration à l'échelle nanométrique et ses applications dans l'exposition à l'AFM, le DPN et l'oxydation améliorée en champ local.
Explore l'évolution de la micro-ingénierie et de la nano-ingénierie, en mettant l'accent sur l'utilisation du silicium comme matériau mécanique et l'application de l'AFM et de la T-SPL en nano-ingénierie.
