Explore les techniques de microscopie optique, les mesures de dimension, le profilage de surface, la caractérisation électrique du MEMS et les techniques de microscopie avancées.
Couvre les principes et les applications de la microscopie de la force atomique (AFM) pour la métrologie à l'échelle nanométrique, y compris les modes d'imagerie, les interactions tip-sample et le traitement de l'image.
Explore les encorbellements à détection automatique dans la microscopie par sonde à balayage et les avantages des systèmes capteurs-actionneurs intégrés pour la collecte de données à grande vitesse.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
