Lithographie par faisceau d'électrons: Interactions et résistance au contraste
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Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
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Couvre les principes et les applications de la microscopie par sonde à balayage, y compris les principes de fonctionnement, les différents systèmes et les applications d'imagerie.
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Couvre les bases de la microscopie électronique à balayage, y compris l'interaction de la matière électronique, les techniques d'imagerie et les sujets avancés connexes.
Explore les forces, les pointes et les sondes utilisées dans la microscopie à sonde à balayage, en se concentrant sur les principes AFM, les limites de résolution des pointes et la fabrication de sondes en porte-à-faux.
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