Lithographie thermique de sonde de balayage : Patterning d'échelle de nanomètre

Cette séance de cours de l'instructeur couvre l'histoire et le développement de la lithographie par sonde à balayage thermique (t-SPL) à l'EPFL, en se concentrant sur le projet de stockage de données 'Millipede'. Il explique le processus d'écriture thermomécanique avec un AFM, le fonctionnement du système Millipede et les principes de structuration utilisant la résine et le substrat. La séance de cours se penche également sur la structuration 3D, la nanolithographie à pointe AFM chaude, le transfert de motif dans le silicium et la lithographie en niveaux de gris. Il se termine par un aperçu des techniques émergentes de nanostructuration et de la portée des méthodes de nanofabrication, y compris la lithographie et la lithographie par nano-impression.