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Séance de cours
Nanoimprint Lithographie: Bases et Applications
Description
Cette séance de cours couvre les bases de la lithographie par nanoimpression (NIL) en tant que méthode de nanostructuration, y compris la préparation de la pile d'empreintes, les méthodes de réplication émergentes, les modèles de processus, les problèmes de NIL thermique et des exemples d'applications NIL dans la production de masse et les puces microélectroniques haut de gamme.
Source officielle
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