Processus d'évaporation thermique

Cette séance de cours couvre le processus d'évaporation thermique dans une chambre à vide, où différents matériaux sont évaporés sur une surface de plaquette pour la micro-nano fabrication. Il explique la configuration, la sélection du matériau, le contrôle du dépôt à l'aide d'un obturateur mécanique et le rôle du faisceau d'électrons dans le chauffage de l'évaporant. Le processus implique le chargement des plaquettes, la réalisation des conditions de vide, le chauffage de l'évaporant, le contrôle de la vitesse de dépôt et le déchargement des plaquettes revêtues.