Séance de cours
Processus d'évaporation thermique
Séances de cours associées (32)
Dépôt de vapeur physique: Techniques d'évaporationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
Dépôt de vapeur physique: bases et applicationsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.
Transport du gaz et taux de croissance des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur
Présente MEMS, technologie Cleanroom, oxydation thermique, création de vapeur et principes de formation de films.
Flexible Bioelectronics: Matériaux électroniques organiques
Explore l'utilisation de matériaux électroniques organiques dans la bioélectronique flexible, couvrant les interfaces neuronales, les matériaux à base de carbone, les dépôts contrôlés et les avantages des matières organiques.
Dépôt : Techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces en nanofabrication, en abordant des problèmes tels que la diffusion du métal et le contact approprié du métal.
Sputtering : Interactions avec les cibles ioniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.
Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication
Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
Plasma Focused Ion Beam: Applications et Techniques
Explore la technologie Plasma Focused Ion Beam, couvrant l'imagerie de haute précision, le dépôt de matériaux et les contrôles automatisés du système.
Sputtering: Croissance du film et paramètres de contrôleMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le processus de pulvérisation, les paramètres influençant la qualité du film et les avantages par rapport à l'évaporation thermique.