Plasmes industriels: Formation de gaines et gravure de plasma

Cette séance de cours couvre la formation de plasmas industriels, en se concentrant sur le développement de la gaine et les processus de gravure au plasma. Les sujets abordés comprennent le passage de la décharge de Townsend à la lueur plasmatique, la distribution de Maxwell-Boltzmann, le flux ionique, le potentiel de gaine et les profils de densité. L'instructeur explique l'importance de l'utilisation de la climatisation pour le traitement continu du plasma, les bases du plasma radiofréquence et les réacteurs à couplage capacitif RF de grande surface. En outre, la séance de cours se penche sur le dépôt de vapeur chimique améliorée par plasma (PECVD) de silicium à couche mince, la décharge par barrière diélectrique (DBD) pour la production d'ozone et le processus de production d'ozone par la chimie du plasma. La session se termine par un résumé du plasma avec des électrodes isolantes, mettant l'accent sur le plasma à couplage capacitif RF et la décharge de barrière diélectrique pour la génération d'ozone.

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PHYS-424: Plasma II

This course completes the knowledge in plasma physics that students have acquired in the previous two courses, with a discussion of different applications, in the fields of magnetic confinement and co

État plasma

thumb|upright|Le soleil est une boule de plasma. thumb|Lampe à plasma.|168x168px thumb|upright|Les flammes de haute température sont des plasmas. L'état plasma est un état de la matière, tout comme l'état solide, l'état liquide ou l'état gazeux, bien qu'il n'y ait pas de transition brusque pour passer d'un de ces états au plasma ou réciproquement. Il est visible sur Terre, à l'état naturel, le plus souvent à des températures élevées favorables aux ionisations, signifiant l’arrachement d'électrons aux atomes.

Gravure au plasma

La gravure au plasma est une technique de gravure sèche utilisée en microfabrication (microélectronique). La gravure au plasma consiste à faire subir à un échantillon (wafer) un bombardement de gaz ionisé (plasma) afin d'en retirer une ou plusieurs couches de matériaux. Cette méthode de gravure est purement physique (par opposition aux gravures chimiques), au sens où il n'y a pas de réaction chimique entre l'échantillon et le plasma, mais que ce dernier agit uniquement par effet mécanique. Physique des plas

Décharge de Townsend

droite|vignette|350x350px| Effet d'avalanche dans un gaz soumis à des rayonnements ionisants entre deux électrodes. La première ionisation libère un électron, et chaque collision ultérieure en libère un supplémentaire, de sorte que deux électrons émergent de chaque collision pour entretenir l'avalanche. Une décharge de Townsend ou avalanche de Townsend est un processus d'ionisation de gaz dans lequel des électrons libres, placés dans un champ électrique, sont accélérés.

Streamer discharge

In electromagnetism, a streamer discharge, also known as filamentary discharge, is a type of transient electric discharge which forms at the surface of a conductive electrode carrying a high voltage in an insulating medium such as air. Streamers are luminous writhing branching sparks, plasma channels composed of ionized air molecules, which repeatedly strike out from the electrode into the air.

Silicium amorphe

Le silicium amorphe, généralement abrégé a-Si, est la variété allotropique non cristallisée du silicium, c’est-à-dire dans lequel les atomes sont désordonnés et ne sont pas rangés de façon régulière définissant une structure cristalline. Le silicium amorphe peut être déposé en couches minces à basse température sur un grand nombre de substrats, permettant d'envisager une grande variété d'applications microélectroniques. Ce matériau semi-conducteur est couramment utilisé pour réaliser certains panneaux solaires photovoltaïques.

Plasmes industriels: Formation de gaines et gravure de plasma PHYS-424: Plasma II

Explore la formation de gaines, la gravure au plasma, la vitesse des ions et l'énergie dans les plasmas industriels, soulignant leur importance pour la fabrication électronique moderne.