Explore la lithographie par sonde à balayage pour les techniques de structuration à l'échelle nanométrique et ses applications dans l'exposition à l'AFM, le DPN et l'oxydation améliorée en champ local.
Explore des méthodes de lithographie alternatives telles que la nanoimpression et la lithographie au pochoir pour la fabrication de nanofils et la structuration de surface exotique.
Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
Explore les bases de la lithographie, les méthodes émergentes de nanostructuration et les applications dans les puces microélectroniques haut de gamme.
Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Explore les fondamentaux de la microscopie à sonde à balayage, les types de pointes et les modes AFM pour l'imagerie et la manipulation à l'échelle nanométrique.