Sputtering : Interactions avec les cibles ioniques
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Explore les dépôts de vapeur chimique amélioré par le plasma pour le traitement des films minces et son impact sur les propriétés des films et la qualité des matériaux.
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Explore les interactions faisceau-matière, les effets thermiques, les effets chimiques, les déplacements atomiques et les mécanismes d'émission de matière en microscopie électronique.
Explore les principes et les applications de la technologie Focused Ion Beam, couvrant l'imagerie, le fraisage, la préparation d'échantillons TEM, les structures nanofabriquées et la microscopie 3D.
Explore la synthèse du catalyseur par dépôt et précipitation, couvrant les principes, les applications, la (co-)précipitation, les zéolites, les supports de carbone et les pérovskites.
