Bases SEM

Cette séance de cours couvre les bases de la microscopie électronique à balayage (SEM), y compris la configuration, les sources d'électrons, les lentilles, le système de vide et le système de détection. Il explique le fonctionnement du SEM, les signaux qu'il utilise et les défis tels que les dommages causés par le faisceau, la contamination et la charge. La séance de cours traite également de l'effet de l'inclinaison de l'échantillon sur le rendement des électrons rétrodiffusés (ESB), de l'importance de la position du détecteur et des stratégies pour atténuer les problèmes de charge. En outre, il explore l'impact de l'énergie du faisceau sur les signaux SEM et l'importance de comprendre le volume d'interaction pour la formation d'images.