Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Couvre la fabrication de dispositifs MEMS nanométriques et le fonctionnement du microscope de la force atomique pour mesurer les ultrapetites forces sur les particules.
Explique les principes de fonctionnement des capteurs capacitifs MEMS, des condensateurs différentiels, des microphones MEMS et l'impact de la technologie MEMS sur les produits de consommation.
Couvre les bases de la modélisation par éléments finis pour les microsystèmes, en se concentrant sur les lois de mise à l'échelle et les simulations à l'aide de COMSOL.
Explore les produits MEMS à succès tels que les accéléromètres et leur processus de fabrication, ainsi que leur application dans les airbags de voiture et les smartphones.
Explore la gravure anisotrope de films organiques et d'alliages d'Al, en mettant l'accent sur le rôle de Al2O3 dans la gravure d'Al et en présentant des exemples de procédés de gravure sèche.
