Lithographie : outils et techniques

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Description

Cette séance de cours couvre les principes et les outils utilisés en lithographie pour la micro et la nanofabrication, y compris la lithographie UV, les outils d'alignement et d'exposition, l'exposition au contact et à la proximité, les longueurs d'onde d'exposition et les sources lumineuses, la lithographie de projection, les techniques d'amélioration de la résolution, les masques de déphasage et la lithographie par immersion.

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https://mediaspace.epfl.ch/media/0_zmu4jz97

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