Séance de cours
Nanoimprint Lithographie: Méthodes émergentes de Nanopatterning
Description
Cette séance de cours couvre les bases de la lithographie, y compris la lithographie ultraviolette profonde et la lithographie à faisceau d'électrons focalisé. Il se penche également sur les méthodes émergentes de nanopatterning telles que la lithographie de nanoimprint, la lithographie molle, et la lithographie de nanostencil. L'instructeur discute du modèle de procédé de nanoimpression, des problèmes avec la lithographie thermique de nanoimpression, et fournit des exemples d'applications de lithographie de nanoimpression dans la production de masse et les puces microélectroniques haut de gamme.
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