Séance de cours
Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALD
Séances de cours associées (43)
Pulvérisation: Formation de plasma et dépôt de film minceMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre les processus de pulvérisation, de création de plasma et de dépôt de couches minces.
Dépôt : Techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces en nanofabrication, en abordant des problèmes tels que la diffusion du métal et le contact approprié du métal.
Traitement mince-fiilm
Explore les techniques de traitement des films minces, y compris les interactions CVD, ALD et plasma, en mettant l'accent sur leurs avantages et leurs applications.
Dépôt de vapeur physique: bases et applicationsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.
Traitement mince-fiilm: Dépôt de plasma
Explore les dépôts de vapeur chimique amélioré par le plasma pour le traitement des films minces et son impact sur les propriétés des films et la qualité des matériaux.
MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur
Présente MEMS, technologie Cleanroom, oxydation thermique, création de vapeur et principes de formation de films.
Films minces : croissance et interfaces
Explore le mouvement de dislocation, les modèles de croissance en couches minces et l'interface entre la nature et la technologie moderne.
Films minces: Dépôt et dessin
Explore la préparation de films minces, les mécanismes de croissance et les techniques de dessin pour les appareils électroniques organiques.
Transport du gaz et taux de croissance des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Croissance du film mince: Atoms Arrivée et adhésionMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Se penche sur la croissance du film mince, l'adhésion, la structure cristalline et les contraintes.