Séance de cours
Micro et nanofabrication: bases et techniques
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Lithographie: Technologies de microfabrication
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Micro et nanofabrication pour OptomechanicsMOOC: Cavity Quantum Optomechanics
Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication
Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
Nanomanufacturation avancée : Lithographie et auto-assemblage
Déplacez-vous dans des techniques avancées de nanomanufacturing, y compris la lithographie et le copolymère bloc auto-assemblage pour la fabrication précise des appareils.
Technologies de microfabrication
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur
Présente MEMS, technologie Cleanroom, oxydation thermique, création de vapeur et principes de formation de films.
Lithographie à faisceau focalisé : E-Beam Basics
Explore la lithographie UV et DUV, les bases de la lithographie par faisceau d'électrons, les matériaux résistants et l'optique, en comparant EBL avec d'autres méthodes de lithographie.
Lithographie : Fabrication étendue
Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
Lithographie: Nanoscale Patterning Techniques
Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.
Micro et nanofabrication
Couvre les processus de micro et nanofabrication, y compris la gravure au plasma et les techniques de gravure à sec.