Catégorie
Couche mince
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PVD 7: Autres techniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de placage ionique, de MBE et de PLD dans la fabrication de films minces.
Dépôt : Techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur (PVD) pour le dépôt de couches minces en nanofabrication, en abordant des problèmes tels que la diffusion du métal et le contact approprié du métal.
MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur
Présente MEMS, technologie Cleanroom, oxydation thermique, création de vapeur et principes de formation de films.
Traitement mince-fiilm
Explore les techniques de traitement des films minces, y compris les interactions CVD, ALD et plasma, en mettant l'accent sur leurs avantages et leurs applications.
Croissance du film: modes de croissance et structure cristallineMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.
Dépôt de vapeur physique: bases et applicationsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les techniques de dépôt de vapeur physique, y compris la création de vapeur et le flux vers le substrat en micro et nanofabrication.
Traitement mince-fiilm: Dépôt de plasma
Explore les dépôts de vapeur chimique amélioré par le plasma pour le traitement des films minces et son impact sur les propriétés des films et la qualité des matériaux.
Sputtering: Croissance du film et paramètres de contrôleMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le processus de pulvérisation, les paramètres influençant la qualité du film et les avantages par rapport à l'évaporation thermique.
Dépôt de vapeur physique: principes et applications
Explore les principes et les applications du dépôt de vapeur physique (PVD) dans les technologies de microfabrication, couvrant des sujets tels que la création de microstructures métalliques et l'efficacité de pulvérisation.
Films minces: Dépôt et croissance
Explore la préparation de films minces, les mécanismes de croissance, les considérations de film organique, et les techniques de dépôt dans l'électronique.