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Explore les interactions faisceau-matière, les effets thermiques, les effets chimiques, les déplacements atomiques et les mécanismes d'émission de matière en microscopie électronique.
Explore l'histoire de la lithographie par sonde thermique, le système Millipede, l'écriture AFM, la modélisation 3D et les techniques émergentes de nanostructuration.
Couvre les principes et les applications de la microscopie par sonde à balayage, y compris les principes de fonctionnement, les différents systèmes et les applications d'imagerie.
Explore les corrections de l'effet de proximité dans la lithographie par faisceau d'électrons pour les petites et grandes caractéristiques, en soulignant l'importance de la modélisation de la fonction d'étalement du point de faisceau.
Explore la lithographie par faisceau d'électrons (EBL), son aperçu des outils, les niveaux de vide, les sources d'électrons et les canons pour la fabrication de dispositifs de moins de 20 nm.
Couvre les principes, les applications et les composants de la microscopie électronique à transmission (TEM), y compris les modes d'imagerie et les techniques avancées.
