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Explore la fabrication de pointes et de porte-à-faux AFM, y compris l'affûtage de pointe, l'oxydation thermique, et l'utilisation de nanotubes de carbone comme sondes.
Couvre les bases de la modélisation par éléments finis pour les microsystèmes, en se concentrant sur les lois de mise à l'échelle et les simulations à l'aide de COMSOL.
Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.
Explore les techniques d'arrêt de gravure, y compris l'implantation B, les arrêts de gravure électrochimiques et les exemples de microusinage en vrac en micro et nanofabrication.
Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.
