Concept
Masque photographique
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Lithographie : outils et techniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre les principes et les outils utilisés en lithographie pour la micro et la nanofabrication.
Technologies: BioMEMS Aperçu
Couvre les technologies, les matériaux, les processus et la chimie PDMS de BioMEMS.
Lithographie : Masque et écriture laserMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
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Micro-actionneur thermo-mécanique: étude de casMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
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Clip Masque Aligneur LithographieMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
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Technologie de fabrication
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Fabrication de masque clipMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
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Techniques de structuration : lithographie et impression
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