Séance de cours

MEMS & Cleanroom: Des couches minces de matériaux et la création de vapeur

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Traitement des films minces: retrait et dépôt
Explore les techniques d'enlèvement et de dépôt de couches minces dans la technologie CMOS, couvrant la gravure humide, la gravure sèche, le polissage mécanique chimique et les méthodes de dépôt de couches minces.
Composants de microscopie électronique
Couvre les composants du microscope électronique, les systèmes de vide, les aberrations, les détecteurs et les porte-échantillons.
Plasma Focused Ion Beam: Applications et Techniques
Explore la technologie Plasma Focused Ion Beam, couvrant l'imagerie de haute précision, le dépôt de matériaux et les contrôles automatisés du système.
Matériel électronique à grande surface : Introduction
Couvre les matériaux électroniques de grande surface, y compris les composants TFT et OLED, la fabrication de films minces, les matériaux pour les applications de grande surface, et les défis dans la croissance de films minces.
Traitement mince-fiilm: Techniques de dépôt
Explore les techniques de traitement des films minces, en mettant l'accent sur les avantages des dépôts de vapeurs chimiques, les modes de croissance, la DLA, le rôle du plasma et l'initiation des rejets.
Procédés collisionnels dans les plasmasMOOC: Plasma Physics: Introduction
Explore les processus de collision dans les plasmas, y compris le ralentissement du faisceau d'électrons, la résistivité plasmatique et les fréquences de collision.
Momentum angulaire de spin
Explore le spin comme élan angulaire, ses opérateurs, les relations de commutation, et eigenstates dans la mécanique quantique.
Lithographie: Technologies de microfabrication
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Croissance du film: modes de croissance et structure cristallineMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.
Stress en couches minces : croissance et microfabrication des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Examine le stress dans les couches minces, y compris la distribution uniforme et les facteurs intrinsèques, dans le contexte de la microfabrication.

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