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Explore les principes et les applications du dépôt de vapeur physique (PVD) dans les technologies de microfabrication, couvrant des sujets tels que la création de microstructures métalliques et l'efficacité de pulvérisation.
Couvre la gravure humide des couches sacrificielles en micro et nanofabrication, y compris les défis et les solutions pour la déformation de la microstructure et le diagnostic de stress.
Explore divers processus de dépôt chimique en phase vapeur, notamment APCVD, SACVD, LPCVD, UHV / CVD, PECVD et MOCVD, en se concentrant sur la croissance du film et les effets plasmatiques.
Couvre les fondamentaux et les techniques de dépôt de vapeur chimique (CVD), y compris le transfert de masse, le calcul du taux de croissance du film et diverses techniques de CVD.
Explore les méthodes de croissance des couches minces organiques, la nucléation, la croissance des grains, l'alignement des cristaux et le recuit des vapeurs de solvant.
Explore le traitement de films et de revêtements minces à l'aide de techniques sol-gel, de dépôts en phase vapeur, de techniques de pulvérisation et de méthodes de pulvérisation thermique.
