Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Explore le réglage de fréquence basé sur le stress dans les dispositifs micro/nanomécaniques, couvrant le rayonnement noir du corps, la non-linéarité optique, NETD, et la gamme dynamique.
Explore les lois d'échelle des actionneurs électrostatiques, la densité d'énergie, la tension de claquage, les pressions d'actionnement et les considérations de dimensionnement.
Explore l'évolution et les applications de la technologie MEMS, en mettant l'accent sur les études de cas du monde réel et les perspectives d'avenir en nanotechnologie.
Couvre les phénomènes physiques de transduction électrostatique, y compris l'accumulation de charge, la capacité et la force électrostatique, avec des exemples pratiques de capteurs et d'actionneurs.
Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
