Microscopie de sonde de balayage : Fondamentaux et applications
Graph Chatbot
Chattez avec Graph Search
Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.
AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Explore la lithographie par sonde à l'échelle nanométrique, couvrant diverses méthodes et applications dans la modification de surface et la structuration.
Couvre les principes fondamentaux de la microscopie à sonde à balayage, y compris son histoire, ses principes, ses instruments et ses applications dans la recherche et l'industrie des semi-conducteurs.
Explore les applications des interféromètres, les techniques de lithographie et la création de nanostructures en utilisant la lithographie d'interférence et la lithographie d'interférence EUV.
