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Explore les techniques de profilage de surface telles que l'interférométrie en lumière blanche et le profilage de faisceau laser, en mettant l'accent sur leur nature sans contact et leur haute résolution.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Couvre les technologies de microfabrication dans un environnement moderne et propre, y compris les fondamentaux des salles propres, les réussites MEMS et les activités pratiques.
Explore la préparation de matériaux en silicium et de plaquettes pour les applications photovoltaïques, couvrant des sujets tels que la chaîne standard en silicium cristallin et les techniques alternatives de gaufrage.
Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.
Explore diverses techniques de gravure sèche pour le silicium et l'équipement utilisé dans le processus, y compris les sources de plasma RF et les graveurs en phase vapeur HF.
