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Explore le processus de fabrication d'un onduleur CMOS, couvrant l'oxydation thermique, les processus de dopage, la diffusion, l'implantation d'ions et le transfert de motifs.
Explore les bases de la lithographie, les méthodes émergentes de nanostructuration et les applications dans les puces microélectroniques haut de gamme.
Couvre les technologies de microfabrication dans un environnement moderne et propre, y compris les fondamentaux des salles propres, les réussites MEMS et les activités pratiques.
Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.
Explore les techniques de gravure sèche dans le traitement des semi-conducteurs, des réacteurs à baril aux sources de plasma modernes comme ICP et ECR.
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
Explore des méthodes de lithographie alternatives telles que la nanoimpression et la lithographie au pochoir pour la fabrication de nanofils et la structuration de surface exotique.
Explore les applications des interféromètres, les techniques de lithographie et la création de nanostructures en utilisant la lithographie d'interférence et la lithographie d'interférence EUV.
