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Explore l'histoire de la lithographie par sonde thermique, le système Millipede, l'écriture AFM, la modélisation 3D et les techniques émergentes de nanostructuration.
Explore l'évolution de la micro-ingénierie et de la nano-ingénierie, en mettant l'accent sur l'utilisation du silicium comme matériau mécanique et l'application de l'AFM et de la T-SPL en nano-ingénierie.
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