Séances de cours associées (100)
Transduction de mouvement : Levier optique et détection d'interféromètre
Explore les méthodes de détection de levier optique et d'interféromètre pour la transduction de mouvement dans les dispositifs à microéchelle.
Méthodes de calcul de force: Systèmes électromécaniquesMOOC: Conversion electromécanique I
Couvre le calcul des forces dans les systèmes électromécaniques utilisant le tenseur de Maxwell.
Dépôt de vapeur chimique: Films minces et oxydationMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore le dépôt chimique de vapeur, l'oxydation thermique et une étude de cas de micro-actuateur dans la micro et la nanofabrication.
Systèmes micro-électro-mécaniques
Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
MEMS électrostatique: mise à l'échelle et actionnement
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Électrostatique dans MEMS: Élargissement des lois et des applications
Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Composantes : Roulements à billes (suite), Actionneurs
Couvre les roulements à billes, les moteurs électriques et les actionneurs, y compris la conductivité thermique, le bruit de couple, la lubrification et les mécanismes de génération de force.
Systèmes électromécaniques : actionneurs et perméanceMOOC: Conversion electromécanique I
Discute de la modélisation des systèmes électromécaniques, des actionneurs, de la perméance, des effets de saturation et de la création de force négative.
Transduction : Détection
Explore diverses méthodes de transduction pour détecter le mouvement et la déformation dans des applications à micro-échelle.
MEMS électrostatique: DEA et entraînements à peignes
Explore les applications DEA, Comb Drives, Electro-Adhesion, Zipping et MEMS.

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