Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Couvre les roulements à billes, les moteurs électriques et les actionneurs, y compris la conductivité thermique, le bruit de couple, la lubrification et les mécanismes de génération de force.
Discute de la modélisation des systèmes électromécaniques, des actionneurs, de la perméance, des effets de saturation et de la création de force négative.
Explore les applications DEA, Comb Drives, Electro-Adhesion, Zipping et MEMS.
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