Explore les applications industrielles du plasma, les phénomènes de dégradation et les défis de chimie du plasma, y compris les réactions en phase gazeuse et les processus de transport.
Explore le traitement industriel du plasma, en mettant l'accent sur le transfert d'énergie entre les électrons et les ions, la loi de Paschen et l'interface plasma-paroi.
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
Explore les mécanismes de défaillance dans les dispositifs MEMS, y compris le fluage, la fatigue et les défaillances électriques, et discute des stratégies d'atténuation.
Explore les limites du chauffage ohmique dans le plasma et les avantages et inconvénients de l'injection de faisceau neutre pour le chauffage plasma supplémentaire.
