Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.
Explore les applications industrielles du plasma, les phénomènes de dégradation et les défis de chimie du plasma, y compris les réactions en phase gazeuse et les processus de transport.
Couvre la fabrication de dispositifs MEMS nanométriques et le fonctionnement du microscope de la force atomique pour mesurer les ultrapetites forces sur les particules.
Explore les processus de fabrication non conventionnels tels que le meulage, l'usinage par électrodécharge et la découpe au jet d'eau, y compris la modélisation et les processus connexes.
