Lithographie par faisceau d'électrons: Corrections d'effets de proximité
Séances de cours associées (32)
Graph Chatbot
Chattez avec Graph Search
Posez n’importe quelle question sur les cours, conférences, exercices, recherches, actualités, etc. de l’EPFL ou essayez les exemples de questions ci-dessous.
AVERTISSEMENT : Le chatbot Graph n'est pas programmé pour fournir des réponses explicites ou catégoriques à vos questions. Il transforme plutôt vos questions en demandes API qui sont distribuées aux différents services informatiques officiellement administrés par l'EPFL. Son but est uniquement de collecter et de recommander des références pertinentes à des contenus que vous pouvez explorer pour vous aider à répondre à vos questions.
Célèbre le parcours exceptionnel de Philippe Renaud dans les domaines de la micro-ingénierie, de l’innovation et de l’éducation, en mettant en valeur son impact sur la recherche, l’éducation et les collaborations interdisciplinaires.
Explore les techniques de profilage de surface telles que l'interférométrie en lumière blanche et le profilage de faisceau laser, en mettant l'accent sur leur nature sans contact et leur haute résolution.
Met l'accent sur la protection FinFilm dans les sondes flexibles pour maintenir la fonctionnalité et la stabilité de l'appareil au milieu du stress et de la tension.
Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Déplacez-vous dans des techniques avancées de nanomanufacturing, y compris la lithographie et le copolymère bloc auto-assemblage pour la fabrication précise des appareils.
Explore les fondamentaux de la lithographie, les défis de la nanofabrication et les techniques de structuration avancées pour la production à haute résolution.
