Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
Explore la structure cristalline du silicium, l'anisotropie dans les taux de gravure, les mécanismes de gravure et les différents bains de gravure en micro et nanofabrication.
Couvre les principaux problèmes de fabrication de la lithographie, les considérations d'exposition, les défis de développement et les limites de résolution.
Explore la fabrication d'appareils à film mince pour BCI, couvrant la résistance à l'interconnexion, la microfabrication, les matériaux d'encapsulation et les revêtements de Parylène.
Explore la conception et la fabrication d'un micro-actionneur bi-morphe et sa caractérisation thermomécanique à travers des applications de courant continu et alternatif.
Explore la génération de plasma, la gaine ionique, la tension de polarisation CC et la conception d'électrodes dans les processus de micro et de nanofabrication.
Explore la formation de gaines, la gravure au plasma, la vitesse des ions et l'énergie dans les plasmas industriels, soulignant leur importance pour la fabrication électronique moderne.
