Concept

Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma

Séances de cours associées (55)
Transport du gaz et taux de croissance des filmsMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Couvre le transport de masse dans la couche limite, le transfert de gaz vers le substrat, le calcul du taux de croissance du film et les résultats expérimentaux.
Films minces : croissance et interfaces
Explore le mouvement de dislocation, les modèles de croissance en couches minces et l'interface entre la nature et la technologie moderne.
FIB Applications: Nanofabrication et analyse des défaillances
Explore les applications du faisceau d'ions focalisés (FIB) dans la nanofabrication et l'analyse des défaillances.
Oxydes conducteurs transparents
Explore l'évolution, les propriétés et les applications des oxydes conducteurs transparents, y compris les défis dans les applications optoélectroniques et les stratégies de réduction des réflexions de surface dans les cellules solaires.
Catalyseur de synthèse II: Dépôt et précipitation
Explore la synthèse du catalyseur par dépôt et précipitation, couvrant les principes, les applications, la (co-)précipitation, les zéolites, les supports de carbone et les pérovskites.
Dépôt chimique en phase vapeur: Si, SiN4, SiO2, DiamantMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus LPCVD et PECVD pour Si, SiN4, SiO2 et diamant dans les applications microélectroniques.
Sputtering : Interactions avec les cibles ioniquesMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Examine les interactions ion-cible dans les processus de pulvérisation de PVD, couvrant le dépôt composé, les dommages de surface et les facteurs influençant les taux d'éjection des cibles.
Processus de neige à l'interface neige-atmosphère
Explore les processus à l'interface neige-atmosphère et les chutes de neige extrêmes dans les Alpes suisses.
Dépôt chimique en phase vapeur: formation d'oxyde et ALDMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les processus CVD pour la formation d'oxyde et ALD en micro et nanofabrication.
Croissance du film: modes de croissance et structure cristallineMOOC: Micro and Nanofabrication (MEMS)
Explore les modes de croissance dans la croissance des films et la détermination de la structure cristalline en fonction des matériaux utilisés.

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