Couvre l'introduction aux systèmes micro-électromécaniques (MEMS), y compris les principes de fonctionnement, les éléments, les lois d'échelle, le choix du silicium, les capteurs et les actionneurs.
Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Explore les lois de mise à l'échelle, les simulations et les défis dans les MEMS électrostatiques, en se concentrant sur la densité d'énergie, la capacité, les actionneurs et les applications pratiques dans les gants haptiques.
Explore l'évolution et les applications de la technologie MEMS, en mettant l'accent sur les études de cas du monde réel et les perspectives d'avenir en nanotechnologie.
Explore la transduction à travers des mécanismes d'actionnement, couvrant les méthodes basées sur la force et la déformation, les polymères à mémoire de forme, les principes d'actionnement électrostatique et magnétique et des exemples tels que Texas Instruments DLP & DMD.
