Couvre la fabrication de dispositifs MEMS nanométriques et le fonctionnement du microscope de la force atomique pour mesurer les ultrapetites forces sur les particules.
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Couvre les méthodes permettant d'atteindre une grande pureté de l'air dans les environnements de salles blanches pour les processus de microfabrication.
Explore le processus de gravure humide du verre et du silicium à l'aide de solutions à base de HF et de processus en salle blanche pour les etchants HF et BHF.
Explore les bases de la salle blanche et les problèmes de contamination dans les processus de microfabrication, en mettant l'accent sur l'impact des contaminants sur les performances et la fiabilité des appareils.
Explore la conception et la fabrication d'interfaces cerveau-ordinateur à l'aide de technologies à base de silicium et de matériaux flexibles, en mettant l'accent sur les techniques de fabrication clés et les propriétés des matériaux.
Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Explore les processus de gravure humide, y compris la gravure anisotrope et isotrope, la microfabrication à membrane mince et les applications en microfabrication.
