Appareils Micro/Nanomécaniques: Techniques de Fabrication
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Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
Explore l'importance de la micro- et de la nanofabrication dans l'optomécanique, couvrant les processus clés et les défis dans la fabrication des appareils.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Déplacez-vous dans des techniques avancées de nanomanufacturing, y compris la lithographie et le copolymère bloc auto-assemblage pour la fabrication précise des appareils.