Lithographie par faisceau d'électrons: Corrections d'effets de proximité
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Couvre les techniques d'exploitation avancées pour un Microscope Electronique de Transmission (TEM), y compris la mise en place de l'ensemble de travail et le réglage fin de l'image.
Explore les méthodes de lithographie pour définir des modèles dans la fabrication de micro / nano et discute de l'importance et des étapes impliquées dans le processus.
Explore les techniques de fonctionnement et d'imagerie de la microscopie électronique à transmission (TEM), y compris la configuration du mode de service et l'utilisation de la micrographie numérique.
Explore les technologies de microfabrication, la lithographie, MEMS, les processus de salle blanche, l'amélioration de la résolution, les masques de changement de phase et la complexité de la fabrication des puces.
Explore la lithographie dans les technologies de microfabrication, couvrant le dépôt de films minces, la résolution d'impression, le flux de processus, et les limitations imposées par diffraction.
Présente les bases de la microscopie électronique de transmission, couvrant l'interface utilisateur TEM, les paramètres de la caméra, la vue d'ensemble du vide et l'analyse d'images.
Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
