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Explore la fabrication de dispositifs micro / nanomécaniques, couvrant la libération, la sélectivité, la stimulation, le dépôt, la gravure, la lithographie et les techniques de croissance.
Explore les techniques de dépôt physique en phase vapeur, y compris les effets d'ombre et les spécifications de l'équipement pour les processus d'évaporation en micro et nanofabrication.
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